《表1 实验使用的主要设备与仪器》

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《利用蜂窝状涂层材料制备高效多晶硅锭》

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实验使用G6型多晶硅铸锭炉，采用顶侧5面加热结构，通过隔热笼上提方式形成温度梯度，定向凝固生长多晶硅锭。使用的石英坩埚为G6型高纯石英坩埚，坩埚尺寸为1050 mm×1050 mm×480mm。实验使用的主要设备与仪器如表1所示。