《表1 实验主要设备与仪器》
实验使用的多晶铸锭炉为中国电子科技集团公司第四十八研究所研发生产的R13680-1/UM型G6多晶硅铸锭炉,其加热器为顶侧五面加热结构。实验主要设备与仪器见表1。
图表编号 | XD0010388700 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.05.25 |
作者 | 周大良、明亮、黄美玲、邱昊、段金刚、陈国红 |
绘制单位 | 湖南红太阳光电科技有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、南昌大学材料科学与工程学院、湖南红太阳光电科技有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司 |
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