《表2 利用扫描电镜能谱仪分析的硬质点成分》

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《多晶硅锭中硬质点分析及控制研究》

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单位：%，wt

对图1c中的3个点进行能谱分析，其结果如表2所示。能谱仪检测数据显示该区域物质的主要成分是Si，所以电镜观测并未发现明显可见的杂质。其次，C含量所占质量比重为5%～8%，结合图1a和图1b，推测该区域硬质点成分主要为Si C，其尺寸较细小，较多细小的Si C聚合成大硬质点，通过红外探伤呈现出来。