《表1 各试件抛光后表面的L值(μm)》

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《单晶锗抛光过程中的材料变形和边缘效应研究》

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本文使用Slf680粗糙度测量仪测量抛光后表面轮廓，每个试件测量4次，测量轨迹如图16所示，各试件的弧边水平投影长度L取4次测量的平均值，4个试件轨迹1的轮廓图如图17所示（为清楚显示弧边部分，将X轴500～9500μm部分隐藏）。各试件抛光后表面的L值如表1所示，试件1～试件4的L值分别为144.9、162.3、178.4和199.7μm，呈现出加载力越大，L值越大，边缘效应越明显的规律，与仿真分析结论相符，验证了仿真分析的准确性。