《表1 随着集成度提高而变化的集成电路的名称》

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《信息技术发展趋势与半导体产业增长点》

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在单块半导体芯片（其面积与手指甲差不多）上所容纳的电子元件的数目称为集成电路的集成度，集成度越高，所容纳的电子元件数目越多，越有利于降低集成电路的成本与能耗。1960年出现了集成度为10~100的小规模集成电路；1966年出现了集成度在100~1000的中规模集成电路；1970年出现了集成度为10万的大规模集成电路；1993年出现了集成度为1000万的超大规模集成电路；1994年出现了集成度为1亿的超超大规模集成电路（见表1）。[1]随着微细加工技术的进步，现在已经能够在单块半导体芯片上制作数十亿个晶体管等电子元件，在“大规模集成电路”前头加“超”字太多反而不清楚，因此不管集成度多高，都止于“超大规模集成电路”，简称“芯片”。