《表3 不同厚度的玻璃盖板应力比较》

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《关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论》


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根据仿真结果,在仍然使用BK×××玻璃材质、玻璃盖板厚度不变的情况下,将He加压压力降至206 kPa,同时缩短加压时间至1 h,盖板的挠度大幅减小,与蓝宝石相当,检漏过程中的密封胶分层现象消失。