《表2 A组电极颗粒溅射情况Table 2 Electrode sputtering for Group A》
注:1表示有溅射物;0表示暂未发现溅射物;—表示无法确认。
A组电极间不同放电次数后的颗粒溅射情况如表2所示,表中给出了主电极颗粒是否溅射在对面主电极或触发极表面的数据。由表可以看出,A组放电实验中WCu阴极在放电10次后首先出现明显溅射情况,即在触发极表面发现W颗粒,见图5。溅射颗粒基本位于触发极边缘,颗粒成分主要为W(图5能谱分析中Mo为电极本底材料),粒径尺寸分别为0.5、1和3μm。而阴阳极则在放电50次后开始出现相互颗粒溅射,阳极表面首先在中心区域发现阴极溅射而来的W颗粒,呈烧蚀熔融态。随着放电次数的持续增加阴极烧蚀活动加强,阴极表面损伤程度加大,颗粒更易于从阴极表面脱离溅射,速度更大、溅射方向随机性更强,因此500次放电后在阳极表面边缘也能发现明显W颗粒,粒径6μm左右,见图6。而阳极颗粒(Mo)则主要集中在阴极孔边缘,随着放电次数增加溅射颗粒分布范围逐步扩大到距阴极孔边缘1 mm左右的区域。由于Mo的熔点(2 610℃)低于W熔点(3 410℃),因此Mo多以熔融态的形式存在于阴极孔边缘,散布在阴极自身烧蚀形成的W突起之间,如图6所示。
图表编号 | XD0019936000 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2018.06.30 |
作者 | 钟伟、刘云龙、徐翱、尚绍环、金大志 |
绘制单位 | 中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所、中国工程物理研究院电子工程研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
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