《表1 GST合金各原子浓度百分比(%)》

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《相变材料Ge_2Sb_2Te_5的X射线辐照致变效应研究》

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式中：Ii和Si分别为合金中第i个元素的峰面积及灵敏度因子，Ge、Sb、Te三种元素的灵敏度因子分别为0.37、4.8、5.4[8]。计算出来的各原子浓度百分比如表1所示。