《表2 去除函数精确性及稳定性的实验参数》
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抛光的SiC光学元件如图8所示，口径为237mm×294 mm，顶点曲率为776.3 mm。对其进行定点抛光实验，然后进行多点抛光实验，实验参数如表2所示。
| 图表编号 | XD00197695100 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.12.10 |
| 作者 | 黄智、周涛、吴湘、刘海涛、万勇健、郑晓 |
| 绘制单位 | 电子科技大学机械与电气工程学院、电子科技大学机械与电气工程学院、电子科技大学机械与电气工程学院、中国科学院光电技术研究所、中国科学院光电技术研究所、中国科学院光电技术研究所、中国科学院光电技术研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
