《表1 FEI在30000倍率下单应矩阵参数》

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《扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法》

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为了验证本文算法在扫描电镜图像漂移矫正中的有效性与适用性，采用美国FEI Quanta ESEM 300与日本SU8010扫描电镜分别在30000×和35000×下获取黑硅绒面样品图像，所用图像大小均为512×442。通过ORB+RANSAC，ORB+D_RANSAC（RANSAC+RAN SAC）以及本文算法的处理速度与精度上的对比，得出SEM实时漂移补偿的最优算法。图4（a）、5（a）、6（a）和7（a）分别展示30000×和35000×扫描电镜的基准图，其中蓝色矩形区域为SEM图像的感兴趣（ROI）区域，图4（b）、5（b）、6（b）和7（b）为漂移图像，图4（c）、5（c）、6（c）和7（c）为本文算法实时矫正后的图形，黑色区域为本文算法的漂移补偿区域。表1~4为不同电镜在不同放大倍数下计算得到的单应矩阵。其中H1\n\t\t\t\t1，H12，H2\n\t\t\t\t1，H2\n\t\t\t\t2表示实时图像的旋转信息，而H1\n\t\t\t\t3，H23表示图像平移信息。