《表1 氯化亚铜的技术标准》

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《氯化亚铜对多晶硅冷氢化技术中三氯氢硅收率的影响》

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铜基催化剂以Cu Cl和Cu Cl2两种化合物的形式存在。INGLE等[7]认为Cu是该反应的活性中心，高温下Si与Cu的接触和Si与Cu Cl反应都会产生Cu3Si[8]，而Cu3Si在常温到500℃下是Cu-Si合金的稳定相态[9]。由于Cu—Si键键能低于Si—Si键[10]，MUI等[11]认为Cu-Si合金的形成降低了反应能垒，因而是反应的活性中心。经过反复比选并调研其他企业的催化剂使用情况，该实验选用的催化剂规格型号如表1所示。