《表2 必要条件检验结果：航天器用薄膜温度传感器的研制及性能研究》

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《航天器用薄膜温度传感器的研制及性能研究》

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保护薄膜在高温环境下，对薄膜温度传感器的热电极可起到良好的保护作用，在不影响传感器正常测温的情况下，尽量选择与基底热膨胀系数相近的材料[17]，可以有效防止在高温环境中，因内应力而造成的薄膜相互牵扯撕裂现象。为此，在前述的高纯度氧化铝方形陶瓷基片上，制备了ZrO2和Al2O3两种常用耐高温保护薄膜，经过反复实验，获得膜厚为1 500nm的薄膜最优制备工艺参数如表2所示。