《表1 供试土壤养分含量：航天器用薄膜温度传感器的研制及性能研究》

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《航天器用薄膜温度传感器的研制及性能研究》

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由薄膜温度传感器的结构可知，其上的功能薄膜只能在PtRh30和PtRh6两种材料中选择其一。为了在PtRh30和PtRh6两种材料中选出高温稳定性最佳的功能薄膜材料，采用前述的高纯氧化铝陶瓷胚料制成方形陶瓷基片，其边长为10mm，厚度为1 mm，以便于对薄膜进行观察分析。然后，对陶瓷基片进行机械抛光，获得光滑、平整的表面。在此基础上，对抛光后的基片表面进行化学清洗。首先，分别在丙酮和无水乙醇溶液中超声振动清洗10min，之后在去离子水中浸泡10min[14]，紧接着用空气喷枪吹干，以确保其表面完全干燥。最后将清洗后的陶瓷基片摆放于磁控溅射设备真空室的载物台上进行薄膜制备。在前期研究的基础上，选择双放电腔微波等离子体增强射频反应非平衡磁控溅射方法[15]直接将PtRh30和PtRh6两种薄膜分别沉积在两片相同的陶瓷基片上，为了方便薄膜表征，选取薄膜厚度为1 500nm，其制备工艺参数如表1所示。