《表1 离子源主要技术参数及尺寸》

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《朗缪尔探针在射频离子源中的扰动仿真研究》

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离子源各部分主要技术参数和尺寸见表1。放电室设计为一内径为7.2 cm的圆柱体，采用外径约为6 mm的空心铜线制成6匝螺旋线圈作为外部激励，铜线的外部包裹一层橡胶绝缘层，线圈的内半径为4.25 cm，与放电室外径一致。在放电过程中采用氩气作为放电气体，用于射频离子源的等离子体的激发。