《表1 拉曼峰的峰位和半峰宽》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《用RF-PECVD法制备类金刚石薄膜》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

在VCH4/VAr流量比不同的条件下在上、下极板沉积的DLC薄膜，其拉曼光谱及其分峰谱如图2所示。由图2可见，在上极板沉积的所有样品的拉曼光谱中，只在1532.5 cm-1有一个较宽的单峰，而在下极板沉积的样品其拉曼光谱有半峰宽较小的两个单峰。为了深入比较其差异，对两种拉曼光谱进行了分峰谱分析，得到金刚石D峰和石墨G峰的峰位及其半峰宽，如图2中的插图和表1所示。可以发现，在上极板沉积的样品拉曼光谱的D峰和G峰峰位都发生了明显的蓝移和红移，而在下极板沉积的样品其D峰峰位没有明显的变化，G峰峰位发生了蓝移。但是，在上极板沉积的样品其D峰和G峰的半峰宽都比下极板的大。