《表1 间隙测量结果统计（单位：nm)》
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《基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统》
在精度测试平台中，对固定间隙的掩模-基片结构进行多次重复测量，以分析系统对间隙的测量精度。表1为对固定间隙的掩模-基片结构的测量结果统计。
| 图表编号 | XD00189724900 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.12.30 |
| 作者 | 董晓璇、刘明刚、罗先刚、高平 |
| 绘制单位 | 中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院大学、中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室、中国科学院光电技术研究所、中国科学院微细加工光学技术国家重点实验室、中国科学院光电技术研究所 |
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