《表2 不同几何形状微柱直壁与凸槽壁的预浓缩效果系数Table 2 Poreconcentration coefficients of the straight wall and convex gro
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不同几何形状微柱直壁与凸槽壁的预浓缩效果系数计算结果如表2所示，由表2可知同向错位三角形排列的微柱预浓缩的效果最好。但从仿真图图3中可以看出该形状微柱气体死区较大，需要对结构进行优化。
| 图表编号 | XD00188443700 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.05.15 |
| 作者 | 程洁、李明虓、叶一霏、袁明宇、刘洋、赵阳、黄成军 |
| 绘制单位 | 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心、中国科学院大学未来技术学院、中国科学院微电子研究所健康电子研发中心、中国科学院微电子研究所健康电子研发中心、中国科学院大学未来技术学院、郑州大学产业技术研究院、郑州大学产业技术研究院、中国科学院微电子研究所健康电子研发中心、中国科学院微电子研究所健康电子研发中心、中国科学院大学未来技术学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
