《表1 抛光液中大颗粒数Tab.1 Large particle counts of the slurry》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《阻挡层CMP过程中划伤缺陷的控制》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

为了详细考察JFC对划伤缺陷的影响，再根据图3的结果，选择JFC体积分数为3%~5%，配制6组JFC体积分数分别为0，3%，3.5%，4%，4.5%，5%的阻挡层抛光液，分别记为A组、B组、C组、D组、E组、F组。利用大颗粒数（LPC）测试抛光液中不同粒径的大颗粒数nLPC，结果如表1所示。