《表3 最敏感元件的公差分析结果》

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《快焦比长焦距日盲紫外光学系统设计》

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主要分析了透镜的曲率半径、厚度、面形偏差、透镜元件的偏心偏差、倾斜角度偏差对系统的影响。以衍射极限下的MTF均值作为评价函数，空间频率设为40lp/mm，并采用蒙特卡罗分析方法对系统的公差敏感度进行分析，在表2的公差设置下，运行次数设置为1000。对比在空间频率为40lp/mm处的MTF值0.735，在第899次有最优结果，其MTF值为0.721；在第821次有最差结果，其MTF值为0.201，MTF平均值为0.480。整体上与设计结果相比，该数值下降了约20%，与实际加工工艺的预期相吻合，所设计系统具有较好的工程可实现性。另一方面，得到了对系统成像性能影响最大的元件偏差，如表3所示，分别为第1片透镜的倾斜与偏心，第4片透镜的偏心。表3中，Type栏中序号1和2表示第1片透镜的前后表面序号；7和8表示第4片透镜的前后表面序号；TEDX表示光学元件沿X方向的偏心，TEDY表示沿Y方向的偏心；TETY表示光学元件沿Y方向的倾斜。在实际工程应用中，根据该快焦比长焦距日盲紫外光学系统的公差分析，可有效地指导系统装调，在装配过程中，尤其需要重点关注第1片与第4片透镜的装调。