《表3 补偿后公差分析结果》

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《三维激光雷达共光路液体透镜变焦光学系统设计》

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从表2可以看出，透镜加工公差使得发射系统和接收系统点列斑RMS半径均超过要求误差，聚光能力受到影响。将液体透镜曲率半径设置为补偿变量再次进行公差分析，结果如表3所示。经过液体透镜补偿后，共光路系统的加工公差可以达到设计需求，但当仪器加工装调后需要对探测距离和液体透镜曲率半径的关系进行精确定标。