《表2 激光尘埃粒子计数器参数Tab.2 Parameters of laser dust particles counter》

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《标准粒子发生器系统的粒子发生规律》


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PSL稀释液配置:将上述4种PSL原液分别滴入到高纯水中,配置成具有不同含量的PSL稀释液,再装入SPG喷雾器瓶中。为了防止SPG产生的粒子被外界环境的颗粒物所污染,整台SPG置于超净工作台中。测量方式分2种,即单管测量和双管测量。单管测量时,SPG的PSL粒子出射管道直接连接流量为1.0SCFH(标准立方英尺每小时)的激光尘埃粒子计数器或0.1SCFH的激光尘埃粒子计数器。双管测量时,SPG的PSL粒子出射管道经一个三叉管分为2路,一路连接流量为1.0SCFH的激光尘埃粒子计数器,另一路连接流量为0.1SCFH的激光尘埃粒子计数器(如图2所示)。所用的1.0SCFH的激光尘埃粒子计数器型号为Kanomax3905,所用的0.1SCFH的激光尘埃粒子计数器型号为Kanomax3886,主要参数见表2。