《表2 图3中涂层表面区域C和D的能谱结果Table 2 The EDS results of regions C and D on coating surface in Fig.3》

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《反应等离子喷涂TiCN-Mo涂层的组织与性能》

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图3为3种不同Mo质量分数制备的Ti CN-Mo涂层表面的背散射图，由图可见，涂层主要由白色及灰色两种组织组成，存在部分孔洞及裂纹缺陷。随Mo含量增加，涂层中白色区域面积逐渐增加。为了确定涂层中白色及灰色区域的元素组成，进行了EDS分析，结果如表2所列，由表可见，区域C中Ti:C:N的原子比接近2:0.7:1.3，由此可见区域C主要为Ti C0.7N0.3和Ti N相，区域D中主要为金属钼单质及钼的氧化物。