《表2 图1 (b) 、图3及图4中各区域EDS结果 (原子分数/%) Table 2 EDS results of different areas in fig.1 (b) , fig.3and f

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《热处理对激光熔覆钛基复合涂层组织和微动磨损性能的影响》

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图3为未经热处理涂层及不同温度热处理涂层上部区域典型组织SEM图片，图4为不同涂层下部区域典型组织SEM图片，表2为图1（b）、图3及图4中不同区域EDS结果。由图3（a），（b） 可见未经热处理涂层及经过300℃热处理涂层的上部区域典型组织形貌较为相似，都有较大的块状组织B、连续基体C和弥散分布的胞状组织D，不同之处是经过300℃热处理后涂层析出极少的短杆状组织F。由图3（c），（d） 可见涂层有较长的杆状组织F出现，且经过500℃热处理后涂层中出现弥散分布的浅灰色组织E。结合XRD及EDS分析:涂层中较大块状组织B主要由Ti和C元素组成，为TiC；连续基体C主要由Ti元素组成，其中夹杂部分的C，S和W，为α-Ti基体；胞状组织D和浅灰色组织E均由Ti，C和W元素组成，为（Ti，W）C1-x；而杆状组织F中包含Ti，C和S，推测为Ti2SC；图1（b）中针状组织A包含Ti和S，推测为TiS。由图4可见，相对涂层上部组织，不同温度热处理后涂层及未经热处理涂层下部组织中都有较多的杆状组织Ti2SC出现。未经热处理涂层下部区域中有较多的胞状组织（Ti，W）C1-x存在，而经过不同温度热处理后涂层下部组织中有弥散分布的浅灰色组织，结合XRD和EDS分析推测浅灰色组织为硬质相（Ti，W）C1-x。