《表1 MEMS闭锁机构仿真工作流各节点说明》

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《基于代理模型的MEMS结构可靠性仿真程序框架》

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利用前述方法建立闭锁结构最大应力计算的仿真工作流，如图5所示。其中各节点说明，如表1所示。参数化仿真命令流在HM＿input.txt文件中进行定义，考虑的随机变量为H，E，B和vel。批处理命令分别在HyperMesh，LSDyna和LS＿Prepost等节点中进行定义。利用LS＿Prepost提取仿真结果。功能函数func可由s-y得出，y为输入变量的隐式函数，通过有限元计算得到。本例考虑的随机变量与分布类型及分布参数，如表2所示。