《表1 6英寸和8英寸石英承载器卧式炉退火应力结果比较》

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《集成电路制程用高低端石英承载器退火工艺比较研究》

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采用箱式SX型卧式退火炉（浙江长兴凯翔电炉科技公司生产），将常规6英寸石英承载器和新研制的8英寸承载器同时放入该炉体内，采用图1所示的现有6英寸石英承载器卧式炉退火温度曲线进行两规格尺寸承载器的退火效果比较，退火后应力结果整理如表1所示。