《表2 卧式炉与立式炉的结构特点及适用性比较表》

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《集成电路制程用高低端石英承载器退火工艺比较研究》


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针对公司现有的箱式SX型卧式退火炉和合作新研制的钟罩台车式CLZ型号立式退火炉进行了炉体结构特点和适用性能的对比,见表2。