《表3 8英寸石英承载器不同立式退火工艺下应力结果比较》

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《集成电路制程用高低端石英承载器退火工艺比较研究》

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参考传统6英寸卧式炉退火曲线和相关参数的调整，将新研制的8英寸石英承载器放置在合作开发的钟罩台车式CLZ型号立式退火炉里，进行了不同退火工艺温度曲线的比较研究，如图2所示。与退火工艺曲线相对应的8英寸石英承载器的应力情况见表3。