《表1 样品制备工艺参数：锆钛酸铅压电陶瓷的流延法制备及其性能》

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《锆钛酸铅压电陶瓷的流延法制备及其性能》

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采用流延工艺制备Pb（Zr1-xTixO3）压电陶瓷，工艺流程如图1所示，首先将PZT-5A陶瓷预烧粉与溶剂、分散剂一起球磨24 h，再加入粘结剂、增塑剂、除泡剂等按照合适的比例配置成浆料，将真空除泡后的浆料在不同的刮刀高度、流延速度下经流延成型在玻璃板上得到PZT压电厚膜，将PZT压电厚膜切割成30mm×35 mm，叠加10层，通过万能力学试验机在80℃、不同压力下进行热压，干燥后的样品在500℃排胶后经埋烧法在1250℃下保温2 h后得到样品1～15号，样品具体制备工艺参数如表1所列。将得到的PZT压电陶瓷样品进行打磨、被银后施加2.5kV/mm的电场、在80℃的温度下油浴极化20 min，放置24 h后测量其压电性能。