《表1 复合分子泵主要零部件DFM优化明细表》

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《基于DFMA的复合分子泵优化及评价》

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基于DFM的理念，在保证产品技术特性指标的前提下，以制造难度降低和制造成本最低为目的，根据工艺水平和制造能力，综合考虑零件的设计和零件制造过程中材料处理、加工成形、质量检验等环节的影响，通过对材料选择、结构设计、尺寸公差等的改进和优化，使零件能够在已有设备资源条件下，经济、高效、高质量地制造和生产。在CG型复合分子泵开发过程中，经过DFM优化后，整体上成本降低，加工工艺性得到了显著的提升，见表1。