《表4 选取最佳的因子及水平进行重复性验证》
为确保测试结果的准确性,按照试验结果,选取最佳的因子及水平进行重复性验证,具体参数如表4所示。最终测试结果见表5所示。以上重复性验证结果显示,在选取最优的组合后,符合Rpk≤0.15μm的平整度要求(见表4)。
图表编号 | XD00178240100 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.07.10 |
作者 | 曾金榜、肖凯、谢伦魁、王波、肖志勇 |
绘制单位 | 深圳市景旺电子股份有限公司、深圳市景旺电子股份有限公司、深圳市景旺电子股份有限公司、深圳市景旺电子股份有限公司、深圳市景旺电子股份有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |