《表1 氢气纯化变压吸附工艺模拟流程图的模块说明》

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《使用Aspen Adsorption模拟氢气纯化的吸附装置》

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多晶硅生产过程中用于氢气纯化的变温、变压吸附装置常采用3台吸附器交替循环的操作方式，每台吸附器都依次按照“吸附-脱附-再生”的流程不断循环，并且在同一时间，这3台吸附器分别处于吸附、脱附、再生的状态。因此，只需要对吸附装置中的任意1台吸附器进行全流程模拟即可。本文所建立的氢气纯化变压吸附工艺模拟流程如图1所示，图中各模块说明见表1。