《表3 优化前后能耗对比:多晶硅尾气吸附塔再生气回收工艺的节能优化及流程模拟》

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《多晶硅尾气吸附塔再生气回收工艺的节能优化及流程模拟》


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对比表1和表2可以发现,再生气回收节能优化工艺比现有工艺的电耗、氟利昂消耗降幅较大。将氟利昂冷媒消耗折算成电耗和循环水消耗,再生气回收节能优化设计前后能耗对比见表3。