《表2 再生气回收节能优化工艺主要设备能耗》

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《多晶硅尾气吸附塔再生气回收工艺的节能优化及流程模拟》

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再生气回收节能优化工艺流程见图2。高温再生气先经循环水冷却器冷却至40℃左右，通过再生气压缩机加压至0.75 MPa，经压缩机后冷器冷却至40℃后，经热交换器与再生不凝气进行冷量回收利用，再经深冷器采用氟利昂冷媒将其冷却至-2℃进行气液分离，冷却下来的氯硅烷废液送去精馏，再生不凝气经热交换器换热后送至冷氢化。仍以配套3万t/a多晶硅生产的再生气回收装置为例，再生气回收工艺采用节能优化设计后，主要设备的能耗情况见表2。