《表2 柔性STO-TFT性能参数随弯曲程度变化Tab.2Performance parameters of flexible STO-TFT vary with the degree of bend

《表2 柔性STO-TFT性能参数随弯曲程度变化Tab.2Performance parameters of flexible STO-TFT vary with the degree of bend   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《硅掺杂氧化锡柔性薄膜晶体管的制备与特性》


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将制备的300℃退火柔性STO-TFT分别置于曲率半径为5,10,20,30 mm的条件下工作并测试其电学性能,其中该柔性STO-TFT在曲率为10 mm弯曲状态下测试的实物图如图6所示,所测转移特性曲线如图7所示。由实验结果可知,该柔性STO-TFT弯曲在曲率半径为5,10,20,30mm的条件下进行电学性能测试,其转移特性曲线与未弯曲的相比变化差别不大。通过计算相关电学参数如表2所示,可得在不同曲率半径弯曲下工作器件载流子迁移率维持在2.6~2.9 cm2·V-1·s-1之间,亚阈值摆幅也在1.6~2.0 V·dec-1之间浮动,开态电流大小变化不大并都能够超过10-4A数量级,该柔性STO-TFT器件弯曲后,关态漏电流和阈值电压与未弯曲相比有明显增加。根据漏态电流Ioff的公式[20]: