《表1 测量漏率：基于全息激光的光学检漏技术研究》
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该批次器件封帽后的密封试验采用氦质谱细检，接收样品的数量为12只，其中不合格的样品有11只，样品具体的测量漏率如表1所示（判据小于5.1×10-3 Pa·cm3/s）。
| 图表编号 | XD0017047500 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.08.20 |
| 作者 | 冯小成、贺晋春、荆林晓、井立鹏、李洪剑 |
| 绘制单位 | 北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
