《表1 超灵敏检漏仪漏率检测数据》
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使用超灵敏检漏仪对被检件进行漏率检测，标准漏孔选用Agilent公司的渗氦型微小漏率标准漏孔，其漏率经校准为2.66×10-11Pa·m3/s，检测结果如表1所列。
| 图表编号 | XD00142374000 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.04.15 |
| 作者 | 冯天佑、成永军、陈联、赵澜、孙雯君、丁栋 |
| 绘制单位 | 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室、兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 |
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