《表3 翻转压头参数对粘蜡的影响》

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《超薄锗片粘蜡工艺研究》


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针对真空吸头的真空压力、下压压力和下压速度进行了实验,具体见表3。可以看出,降低真空压力,减小下压速度可以减小表面的形变区域,但不能完全消除。