《表1 不同频率下的加工深度》

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《低温共烧陶瓷基板表面精密图形激光加工技术研究》

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为研究激光加工设备加工频率对加工效果的影响，将功率设置在3 W，加工次数为1次，每隔20 k Hz进行加工，得到了表1中的加工数据和图2的表面图。可以看出随着激光加工频率的增加，激光设备加工速度越快，激光加工的深度越小。又从加工后的图形来看，随着频率上升，表面图形的热影响区域逐渐变小，当达到60 k Hz时，加工的图形几乎没有热影响，但大于60 k Hz时，表面没有去除完全，有金属残留。从加工效率和加工效果来看，加工频率设定在60 k Hz较合适。