《表3 不同方式加工的微通道宽度和深度比较》

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《激光辅助电化学放电加工微通道的特性》

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表3是分别利用两种方式在20、21、22 V电压下加工所得微通道槽宽和槽深的比较。可见，两种方式加工微通道的宽度和深度都随电压的增大而增加。相同电压下，复合加工出来的槽宽要比电化学放电加工出来的槽宽更窄，复合加工的槽深也要比电化学放电加工的槽深更浅。当加工电压为20 V时，两种加工方式分别获得该加工方式下的最小加工尺寸，所加工微通道的深宽比都约为1∶2.5，其中传统电化学放电加工出来的最小微通道槽宽289μm，相比于工具电极直径其径向过切量为44.5μm，槽深106μm，相比于进给距离（去除工件与电极10μm的相隔距离）其纵向过切量为26μm。激光辅助电化学放电加工所得最小微通道槽宽246μm，过切量为23μm，下降48%，槽深93μm，过切量为13μm，下降50%。其原因是激光加工产生的材质缺陷使所要加工的微通道边缘与工具电极放电区域之间液层的厚度扩大，这对电化学放电能量产生一个约束和规范作用，同时其特殊的蜂窝状形貌又能使部分材料的去除方式由不稳定不规则的热蚀转变为区域可控的裂解蚀除，双重作用下增强了电化学放电加工的定域性，减少了加工的过切量，大大提高了微通道的加工精度。