《表2 皮秒激光系统实验参数》

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《激光辅助电化学放电加工微通道的特性》

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本实验中设定激光扫描路径为阵列线阵扫描，加工8条平行窄槽，槽宽30μm，槽长1 mm，槽中线之间的间隔为30μm，总加工区域宽度为240μm，完成每层扫描后，激光焦点向下进给10μm，总计进给9次，总扫描深度90μm。本实验中激光系统采用优化的工艺参数，如表2所示。在激光加工完成后，工具电极沿激光预置轨迹进行电化学放电加工。为保证激光作用区域与电化学放电加工区域一致，工具电极中心需沿激光辐照区域中心线进给，该过程的控制方法如下:激光加工完成后，利用激光系统中的CCD相机测得加工区域的宽度，由于激光初始点位置坐标可知，即可得出加工区域中心线位置坐标，在电化学放电加工时，工具电极移动至该中心线坐标处即可保证两种加工方式作用于同一区域。该过程中两者轨迹的对准误差在±1μm以内，对加工结果的影响可以忽略。