《表2 加工图形尺寸测试数据》

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《低温共烧陶瓷基板表面精密图形激光加工技术研究》

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为了得到紫外激光图形加工的极限尺寸，利用优化后的数据加工了图5中设计的图形，得到了表2中的尺寸数据和图6的表面形貌图。可以看出，加工30μm以上图形时，加工的图形边界比较清晰，线宽和线缝的加工尺寸偏差较小，都在±10%以内。而20μm的线宽和线缝尺寸偏差在±20%以外，超过了使用范围。因此将线宽线缝极限尺寸定为30μm，加工精度±10%。