《表2 烧结后的铝浆样品的方阻值Tab.2 Square resistance of aluminum pastes prepared by sintering》

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采用四探针测试仪对铝浆样品进行表征。表2为烧结后的铝浆样品方阻值。结果表明LJ-1、LJ-2、LJ-3、LJ-4的方阻值分别为15,13,9,12mΩ,通常膜层越致密,导电性越好,方阻值越小。而由图1可知,LJ-1、LJ-2、LJ-3、LJ-4的膜层逐渐致密化,LJ-4的膜层最致密,但其方阻值却不是最小的,而LJ-3的方阻值最小。采用能谱仪对LJ-3和LJ-4的膜层表面的元素分布进行表征,图3为烧结后的铝浆样品的能谱图。从能谱的分析结果来看,LJ-4的膜层虽然最致密,但表面存在质量分数约为8.12%的碳元素,而LJ-3的膜层表面没有碳元素残留。这可能是由于LJ-4中的高沸点溶剂的比例较大,导致溶剂在烧结时难以完全挥发。虽然LJ-4的膜层最为致密,但是由于残留了部分有机物,导致其导电性较差,方阻较大。