《表2 键合层中心及边缘位置元素含量对比Tab.2 Element concentration comparison between centre and edge area》

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《面向射频微系统应用的圆片-芯片集成工艺技术研究》


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对比键合层中间及边缘位置的元素组成及含量，如表2所示。

图表编号XD0016816400    严禁用于非法目的
绘制时间2018.03.05
作者刘鹏飞、张斌、张洪泽、戈勤
绘制单位南京电子器件研究所、南京电子器件研究所、南京电子器件研究所、南京电子器件研究所
更多格式高清、无水印（增值服务）

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