《表2 Nb/Al-Al Ox/Nb三层结构生长参数Tab.2 Growth parameters of the Nb/Al-Al Ox/Nb structure》

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第一步,三层膜的制备。在SiO2/Si基片上磁控溅射Nb/Al-Al Ox/Nb三层结构,生长条件如表2所示。