《表1 五种尺寸的Nb悬空桥样品Tab.1 Five sizes of Nb air-bridges》

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《用于超导平面微波电路的悬空桥制备工艺研究》

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用上述工艺流程制备了多个Nb悬空桥样品，表1列出了五种设计尺寸。桥宽为3μm、桥长为12μm的悬空桥样品的SEM照片，如图4（a）所示。桥宽为3μm，桥长为27μm的悬空桥样品SEM照片，如图4（b）所示。在4.2K条件下，通过液氦杜瓦测得悬空桥样品Nb膜电阻随温度变化的R-T曲线如图5所示。图中可看出Tc为8.48K，其正常态电阻为4.2Ω。根据Jc和Tc的关系[8，9]，则Jc（T）=Jo[1-（T/Tc）2]3/2[1+（T/Tc）2]1/2，计算可得悬空桥的超流密度为3.2×105A/cm2。