《表1 不同生长阶段样品的应力》

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《单晶金刚石生长过程中的应力研究》

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同质外延后的单晶金刚石，内部存在残余应力，通过测量其Raman峰值及峰位偏移能够量化金刚石的残余应力大小以及判断其应力类型。残余应力的大小可通过公式б=（ω0-ω）/αh（ω0为金刚石的一阶拉曼峰频率；ω为样品的拉曼峰频率；αh为单晶金刚石的平均流体静应力常数，一般取值为3.2 cm-1/GPa）计算得到。表1为不同生长阶段单晶金刚石较标准单晶峰的峰位偏移，以及根据峰位偏移计算出的应力值[14]。