《表2 实验电子束参数默认设置》

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《电介质与聚合物薄膜电子束诱导电导特性》

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图2是实验装置简化示意图，用于测量电子束诱导电流。整个装置放置于高真空实验舱内。电子枪为热场发射电子枪，束斑直径为100 nm。样品放置于具有良好导电性能的金属平台，下方连接安捷伦B2981A皮安计用于收集和测量电子束诱导电流。相关实验参数如表2所示。