《表4 Cu(H3L)2·12H2O的波数及相对透过率》

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《用于铜电化学机械抛光的羟基乙叉二膦酸基电解液反应机理研究》

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进一步分析其化学组成，通过与已知的络合物Cu（H3L）2·12H2O进行比较[18]，发现其与缓蚀膜具有相似的特征峰，见表4。由于Cu（H3L）2·12H2O在1055 cm-1的RPO32-和1160 cm-1的P=O特征峰与缓蚀膜的光谱在1055 cm-1和1178 cm-1的强特征峰相似，根据FTIR光谱数据库，它们都具有RPO32-基团、P=O基团和相似的碳链，但缓蚀膜的红外光谱不包含官能团P-OH或P（OH）2的特征峰，这说明与磷原子连接的所有羟基都可能电离氢离子，再根据缓蚀膜元素组成，其可能是K+与[CuL2]6-形成的一种新的配位化合物。