《表2 HEDP的波数及相对透过率》

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《用于铜电化学机械抛光的羟基乙叉二膦酸基电解液反应机理研究》

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最后，用质谱仪测定了缓蚀膜经电喷雾电离产生离子的质荷比，得到的结果见图12。可见，主要产物的质荷比为101.9804，与[KCuL2]5-的质荷比101.4高度相似，这表明铜离子从工作电极中电离出来后，与两个HEDP分子反应生成配位化合物[CuL2]6-，接着K+与[CuL2]6-结合生成了配位化合物[KCuL2]5-，见图13。