《表1 不同腐蚀工艺设计:碱腐蚀工艺对微通道板性能的影响研究》

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《碱腐蚀工艺对微通道板性能的影响研究》


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具体的腐蚀工艺对比如表1所示。酸选用浓度为1 mol/L的稀盐酸;碱为NaOH溶液,质量浓度为5%;酸碱溶液的温度为25℃。4种腐蚀工艺都进行两次酸碱交替。腐蚀采用磁力搅拌装置带动溶液旋转。在酸碱交替之间采用纯水超声清洗工艺,超声波频率为40 kHz,功率为300 W。